台积电:绝不会把最先进技术给大陆

 台积电:绝不会把最先进技术给大陆

当局政策限制多年,台积电终于在松绑之后迈出关键一步,确定投资30亿美元在南京设立当今主流的12寸晶圆厂与IC设计服务中心。
 
虽然是需要“投审会”核准,但工商时报称几乎就是走流程的形式而已。
 
据悉,该工厂由台积电独资,规划月产能2万片,预计2018年下半年开始生产16nm。
 
尽管这是一件利好,但仔细分析可以知道,2018年的时候,台积电的10nm就已经量产1年多,7nm也交付客户,大陆事实仍落后台湾两个世代。
 
台湾经济日报今日通过问答对外披露,2万片的产能是2015年台积电全部的2.5%。
 
对于当地人担心核心机密泄露,台积电回复,首先“独资”的形式就是一种保护,另外台湾最先进的制程、最重要的生产与研发基地仍在台湾,未流入大陆,这也印证了我们的上述分析。
对于差距我们必须承认,中芯国际、华力微的28nm刚刚成熟,与台积电/三星等国际巨头的差距仍有3-4年。
 
按照规划,半导体大基金希望在2020年的时候实现16/14纳米自主制造工艺的规模量产。
 
台积电技术
 
 
台积电有哪些先进工艺?
 
TSMC的先进制程近年来仅落后Intel,但领先IBM联盟的Samsung LSI和GlobalFoundries。Intel早在22nm制程技术,就开始使用3D Tri-gate transistors,14nm Tri-gate也在2014就量产。TSMC和Samsung都是到14/16nm才导入3D FinFET transistors,并且到2015年才量产。
 
Samsung LSI这两年靠Apple AP大订单练兵,在32/28nm制程逐渐赶上TSMC,当时TSMC继28nm取得技术和市场的主导地位后,接下来发展的20nm,更几乎是垄断地位,Samsung LSI自认20nm已经来不及,加上判断20nm还是用2D planar transistors,performance/cost不会很好,制程技术生命週期不长,22/20nm仅有研发和自制in-house AP,数量不多,没有外接foundry订单,而把主力直攻14nm FinFET,原本外界质疑没有经过22/20nm的大量产经验,直接发展14nm本来就很困难,又采用新的3D FinFET transistors,应该不会很顺利,没想到Samsung真的做到了,首度在14nm FinFET制程领先TSMC于1Q15量产,率先生产自家Exynox AP,接着生产Apple A9和Qualcomm Snapdragon 820,使得TSMC公开承认2015年14/16nm制程foundry市场市佔率将首度落后竞争对手。
 
TSMC 20nm(20SoC)经验和良率持续进步,在2015全年扮演重要的业绩贡献角色,但2016年因为主要的20nm业务将转进到16nm,20nm将衰煺,虽然不会消失,仍将是一个长期生存的制程技术(long-lived node),只是因为部分需求转移到16nm,TSMC的部分20nm制程设备也将转为用于16nm FinFET制程产品。
 
TSMC的16nm FinFET+(16FF+)制程,策略上是将16nm视为20nm的延伸,使用和20nm相同的“metal backend process”,虽然scaling等规格上比不上Samsung的14nm,制作的芯片die size较大,但因为是延续20nm技术,不仅可以充分利用20nm的量产经验缩短学习曲线,而且90%以上的设备可以共用。TSMC的16nm FinFET+制程产品已经于2Q15正式量产,7月开始小量出货,3Q15逐渐增大的投产量,将于4Q15大量出货贡献营收,研判 4Q15时16nm FinFET+的良率应可大幅拉升。新产品(Apple iPhone 6S/6S+用的A9 AP)量产动能可持续到1H16。TSMC预测2016年全年的16nm制程营收,将比2015年的20nm营收,还要大很多,并将于2016年重新取得主要地位的市佔率(14/16nm)。至于20nm TSMC仍是唯一大量产的foundry。如果用16nm+20nm一起看,无论是2015或2016年,TSMC都是最大的主要供应商。
 
TSMC正在开发新版16nm FinFET C(16FFC)制程,C的意思是compact, 在performance、power(降低漏电)和area(die size)都比16nm FinFET+改进,并能在0.6V以下执行,透过制程简化让cycle time缩短。即使性能大幅改进,原先基于16FF+制程的芯片设计,还是可以很容易的转换成16FFC制程,16FFC的市场定位为mainstream和ultra low power,意味在performance的改进,没有power和cost那么多。
 
10nm制程于end-2016三强对决
 
面对Samsung LSI在先进制程技术上步步进逼,TSMC为重新取回在foundry产业的制程领先地位,一改以往研发单位一个制程(technology node)完成,移交给制造部门,再开发下一个制程的流程,直接用两个团队平行研发,同时开发10nm和7nm制程,而不是等10nm做好再做7nm。这也是TSMC宣称,从16nm到10nm要花将近两年,但是从10nm到7nm预计只要花5季。目前进度,10nm预计end-2016量产,early-2017 wafer out。
 
TSMC研发中的10nm制程技术,和16nm FinFET+ 比较,在同样耗电之下,10nm制造的芯片产品速度快20%,在同样速度之下,耗电少40%,gate density则是16nm FinFET+ 的2.1X。预计4Q15将验证制程技术(technology qualification),1Q16~2Q16客户产品tape out,Late-4Q16量产(或Early-1Q17初)、1Q17出货。
 
虽然目前TSMC、Samsung LSI和Intel三家厂商的10nm都预计在end-2016量产,但Intel可能于10nm导入新的all-around gate,TSMC和Samsung LSI还是用3D FinFET,如果三家公司都没有延误,顺利在end-2016量产10nm的话,Intel的技术还是领先一步。
 
10nm产业界看来,会是一很大的制程世代(technology node),无论是生命週期,或产品数量,都会是一个重要的世代,因为
 

  1. 从技术发展看,10nm的cost和performance的进步,比22/20nm到14/16nm更大。
  2. 从28nm以来,cost per transistor首度于10nm开始下降。

 
LAM Research预测到end-2018,foundry产业的10nm产能会成长到140~150K/m。可以想见,10nm将会是一个非常重要的战争,也会是TSMC和Samsung LSI的第一次“正面”、“同时”、“基础接近”的一次大对决,因为:
 

  1. 45nm到32/28nm,Samsung LSI和Apple互利的结合,TSMC没有真正加入竞争,20nm TSMC一出手就全拿Apple AP订单,但Samsung放弃22/20nm(只有作自家产品)直接跳到14nm又打败TSMC 16nm(至少在时间上),这几个世代,比较像是商业策略运用,不像正面对决。
  2.  首度,TSMC和Samsung LSI在下一代10nm制程技术,量产时间类似(end-2016),技术方向也类似,让客户可以好好比较,不像以前,Samsung LSI主力用45nm时TSMC用40nm half node,Samsung量产32nm时TSMC用28nm half node(TSMC的32nm只有研发没有量产),Samsung LSI的14nm和TSMC的16nm规格也有差异,不好比较。还有HKMG或SiO2、gate last或gate first之差异,让客户有长远技术走向的不同考量。到了10nm制程世代,则是直接硬碰硬的竞争(1)cost、(2)performance、(3)power(漏电)、(4)yield。

 
TSMC 7nm制程的技术抉择
 
TSMC的7nm制程技术重点,是选择FinFET下一代新的电晶体结构、以及在不使用EUV曝光之下,如何让浸润式微影多重曝光可以顺利推进到7nm。相对以前是一个制程接着一个制程的研发,这次TSMC在研发10nm新制程的同时,也同步启动研发下一代的7nm制程技术,预计1Q17进行制程验证,7nm将高度相容于10nm的技术成果和制程设备,90%的10nm设备可以继续用在7nm。并可以利用10nm学习到的制程能力,快速提升良率。TSMC的7nm将不会大量使用EUV设备,但EUV会从7nm开始小量投入研发生产,而大量使用在5nm制程。TSMC的7nm因为技术还没有确定,还不知道performance、pwoer、density相对10nm的进步程度。TSMC认为相对于10nm是一个相对比较短node,而7nm和16nm一样,属于生命週期比较长的technology node。
 
InFO技术让TSMC取得100% A10订单,长期将改变封装产业生态
 
TSMC的晶圆级封装(Wafer Level Package; WLP)技术原本发展的是CoWoS(Chip-on-Wafer-on-Substrate)技术,因良率和材料成本太贵,只有用在少数高阶GPU和FPGA产品,其后发展的以业界Fan-Out封装技术为基础的InFO(Integrated Fan-Out)技术,在成本和良率上,则取得了重大成功,和Flip Chip BGA/CSP比较,InFO优点如下:
 

  1. 可用在高pin count的复杂芯片。
  2.  用封胶面板(Molding Panel)或称为重构晶圆(Reconstituted Wafer)取代传统Flip Chip使用的载板(substrate),成本便宜,而且
  3. 厚度减少超过20%。
  4. 提高芯片performance 20%。
  5. 散热效果多10%

 
TSMC似乎已经克服了InFO各种困难的良率问题,为先进AP提供一个更薄的form factor、更便宜、良好可靠度的晶圆级封装技术方案。目前看起来TSMC的InFO技术已经开发完成,并通过Apple的验证,正在龙潭封装厂积极建置产能中,第一代InFO预计2Q16量产,应该会配合16nm Apple A10订单量产,预计4Q16可贡献US$100M营收。虽然营收贡献比例不高,但可成为10nm竞争Apple A10 AP的加分因素,甚至因为TSMC InFO和Samsung LSI的类似封装技术完全不同,用同样的die做出来的芯片(chip)form factor不同,除非在手机内预留空间,否则A10芯片将无法分给两家不同的封装技术来生产,但既然用InFO目的就是将芯片减薄,在机构设计上当然会充分利用减薄后的空间,将无法使用Samsung LSI生产的不同厚度的芯片,因此也就无法像A9一样分给TSMC和Samsung LSI两家共同生产。因为InFO技术,Apple A10可能从两家供应商,又改回选择TSMC成为独家供应商,果真发生的话,InFO带来效益则非常大,不只是封装本身US$100M营收而以,还让TSMC变成A10独家供应商。
 
如果2016年Apple使用TSMC InFO成功,2017年之后,其他客户如Qualcomm和MTK势必跟进,InFO产能需求大增,客户也会要求有second source,研判TSMC不排除将InFO技术授权给专业封装厂使用,毕竟TSMC的核心业务是晶圆制造,不是封装。长期看,对IC Substrate产业影响很大,尤其是做手机用的Flip Chip CSP厂商,其次是Flip Chip BGA厂商,封装厂多有发展自己的晶圆级封装技术,或可取得InFO授权,影响比较小。2016年马上受影响的是Apple的AP载板供应商Ibiden和SEMCO。
 
TSMC正在开发第二代InFO技术,将配合10nm和7nm制程技术的进度量产。
 
TSMC靠新版28nm HPC+维持28nm制程高市佔率
 
TSMC目前几个主要制程,依特性概分如下:
 

  • High performance: 28HP、28HPM、20SoC、16FF+
  • Mainstream: 28LP、28HPC、28HPC+、16FFC
  • Ultra low power: 55ULP、40ULP、28ULP、16FFC

 
(16FFC同时适合mainstream和ultra low power市场)
 
TSMC的28nm制程技术,从既有的28LP、28HP、28HPL、28HPM几个主要制程,延伸扩大到新发展的28HPC和28HPC+,藉着更广泛改良的制程应用,来扩大28nm的市佔率。去年导入28HPC制程,係针对64 bit中低阶市场CPU,今年导入的28HPC+,则是针对4~10核心CPU + LTE Category 4~6 SoC产品市场,28HPC+比28HPC速度快15%,或耗电少30~50%。除了smartphone CPU(AP)/Baseband之外,28HPC/HPC+也应用在其他产品。另外,28nm transceiver RF和28nm flash controller需求已经开始增温,TSMC认为2016年将有更多客户产品转进28nm,包括WiFi、Wearable、Digital TV、Set-top-box、Image processor,几乎所有的新tape-out的28nm产品都使用新的28HPC和28HPC+制程,这两个制程的tape-out数目已经超过歷史新高纪录。
 
因为客户调节库存,TSMC表示28nm整体产能利用率(billing utilization; UTR)将从3Q15的90%以上,4Q15降到80%以下。TSMC预估2015年28nm wafer出货量大约和去年差不多,透过新版本的28nm制程,TSMC希望阻档二线foundry,维持高市佔率和良好的毛利率,2016年的28nm全年营收还是有机会比2015年成长。
 

吴川斌

吴川斌

Leave a Reply